日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器低壓閥流量計 TANAKA日酸 TORR-50-3W-5010-6UF6UF 特點介紹

●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。

●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。

●在一次室的流路內置過濾器，減少了內部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●還可制作電解研磨規(guī)格品。（接觸氣體金屬部表面粗糙度Ra0.25μm）

●TORR-50系列作為一次低壓用中流量機種，可用于液化氣體的一次減壓、需要流量的配管中使用的調整器等用途。

日本日酸TANAKA壓力調節(jié)器低壓閥流量計 TANAKA日酸 TORR-50-3W-5010-6UF6UF 規(guī)格參數

●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS316LSU S316SUS316LSUS316（螺紋連接）SUS316L（焊接連接）SUS318L、SUS316、氟樹脂C3604ABS樹脂、C3604

●性能入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內置過濾器過濾過度:出入口口徑:外部泄漏量:3.5MPa1.0MPa740L/min（或（）P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2氣體）-5～40°C1.6kg20μm3/8"1.3×10-8Pa m3/sec以下（螺紋連接）1.3x 10-9Pa m3/sec以下（焊接連接）