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日本日酸TANAKA液化腐蝕性氣體用壓力調節(jié)器 TANAKA日酸 TORR-2800●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。
產品型號：TORR-2800廠商性質：經銷商更新時間：2024-10-09訪 問 量：224
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日本日酸TANAKA液化腐蝕性氣體用壓力調節(jié)器 TANAKA日酸 TORR-2800 特點介紹
●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。
●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。
●在一次室的流路內置過濾器，減少了內部泄漏的發(fā)生。
●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。
●TORR-2800系列是用于大流量供給腐蝕性、液化氣體的調節(jié)器。
日本日酸TANAKA液化腐蝕性氣體用壓力調節(jié)器 TANAKA日酸 TORR-2800 規(guī)格參數
●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:壓力表:接頭:過濾器:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋子:調壓手柄:SUS3 16LNi-Cr-Mo合金SUS316L/Ni-Cr-Mo合金（SH系列）SUS316L、SUS316、氟樹脂/Ni-Cr-Mo合金、SUS316、氟樹脂（SH系列）C3604ABS樹脂、C360 4
●性能入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部研磨粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:15MPa1.0MPa1，000L/min（或）（P1=4.5MPa、P2=0.4MPa、N2氣體）-5～40°C6.7kg20μm/10μm（SH系列）Ra 0.25μm1/2"1.3 10-10Pa m3/sec以下
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