日本okksg高壓汞全自動UV照射機(jī)紫外線設(shè)備 FHUV-系列 特點介紹

高壓汞/金鹵燈全自動UV照射設(shè)備是一種使用具有強(qiáng)輻射能的燈管的紫外線固化設(shè)備。

裝入工件后，按下啟動按鈕，機(jī)器將全自動將工件從料庫中取出，并用紫外燈照射，并存儲，直到料庫中的工件全部完成。

根據(jù)目標(biāo)工作，您可以選擇高壓汞燈和金屬鹵化物燈。

日本okksg高壓汞全自動UV照射機(jī)紫外線設(shè)備 FHUV-系列 規(guī)格參數(shù)

緊湊的機(jī)身

可以進(jìn)行 10 種配方設(shè)置（速度根據(jù)設(shè)置而變化）

可使用觸摸面板以 4 種方式設(shè)置功率

顯示累積照射量和紫外線照射強(qiáng)度（僅照射期間）

可根據(jù)照射對象選擇高壓汞燈/金屬鹵化物燈

配備自動設(shè)置變更功能，可自動切換至不同尺寸

不僅可以照射切割框，還可以照射握持環(huán)。

具備判斷UV照射是否完成的功能。

可用于LSI晶圓、存儲器晶圓、LED晶圓、激光晶圓、傳感器晶圓、功率器件晶圓等各種工藝。

尺寸寬1300×深1400×高1350（毫米） 

重量約400公斤 

駕駛空氣0.4Mpa以上 

紫外線照度200mW/cm2以上 

氮氣0.2Mpa以上 100L/min以上 

電源交流三相200V 50/60Hz 100A 

高壓汞/金鹵燈全自動UV照射設(shè)備是一種使用具有強(qiáng)輻射能的燈管的紫外線固化設(shè)備。