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日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用

日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201

eFLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的中空纖維透氣膜補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。
可得到防止因靜電引起的灰塵再次附著和基板圖形的防靜電破壞的效果。

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詳細(xì)介紹

日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 特點(diǎn)介紹

eFLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的中空纖維透氣膜補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。

可得到防止因靜電引起的灰塵再次附著和基板圖形的防靜電破壞的效果。

關(guān)于超純水防靜電裝置

• 由于結(jié)構(gòu)簡單，故障少

• 采用的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良

主要用途

• 掩模、網(wǎng)袋的清洗• 洗滌器清洗• 高壓噴射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗

日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 規(guī)格參數(shù)

裝置原理

通過調(diào)整用二氧化碳溶解模組生成的二氧化碳飽和水和超純水的混合比率，可調(diào)節(jié)超純水的電阻率值。

CO2溶解原理

DIW在模組內(nèi)的中空纖維膜內(nèi)部流動(dòng)。其間，從中空纖維膜外側(cè)CO2溶入DIW內(nèi)。溶解的二氧化碳在DIW內(nèi)發(fā)生離子化，可使DIW具有導(dǎo)電性，消除靜電。由于使用微細(xì)中空纖維膜束，可以有效獲得二氧化碳溶解所需要的表面積。