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日本tysei工業(yè)清洗液藥液用氟樹(shù)脂脫氣裝置

日本tysei工業(yè)清洗液藥液用氟樹(shù)脂脫氣裝置
這是一款采用氟樹(shù)脂材質(zhì)的脫氣模塊，適用于半導(dǎo)體和FPD（平板顯示器）制造工藝中的清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液的脫氣處理。也適用于分析和理化領(lǐng)域中使用的藥液、有機(jī)溶劑、酸堿溶液的脫氣處理，以及各類(lèi)制造工藝中使用的藥液、清洗液、涂層液及處理液的脫氣。

產(chǎn)品型號(hào)：TY-55025
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間：2025-10-30
訪問(wèn) 量：84

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聯(lián)系電話：13823182047

詳細(xì)介紹

日本tysei工業(yè)清洗液藥液用氟樹(shù)脂脫氣裝置
日本tysei工業(yè)清洗液藥液用氟樹(shù)脂脫氣裝置

這是一款采用氟樹(shù)脂材質(zhì)的脫氣模塊，適用于半導(dǎo)體和FPD（平板顯示器）制造工藝中的清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液的脫氣處理。也適用于分析和理化領(lǐng)域中使用的藥液、有機(jī)溶劑、酸堿溶液的脫氣處理，以及各類(lèi)制造工藝中使用的藥液、清洗液、涂層液及處理液的脫氣。

產(chǎn)品型號(hào)和特點(diǎn)

TY-55010（Φ120mm H120mm）

流量范圍：≤20ml/min.

TY-55025（Φ120mm H120mm）

流量范圍：≤50ml/min.

TY-55080（Φ120mm H160mm）

流量范圍：≤150ml/min.

TY-55100（Φ120mm H160mm）

流量范圍：≤250ml/min.

TY-55250（Φ120mm H240mm）

流量范圍：≤500ml/min.

組合型號(hào)

TY-55010 & TY-88010

流量范圍：≤20ml/min 和 ≤500ml/min.

技術(shù)規(guī)格

耐壓：0.3 MPa
最高使用溫度：50℃
接口：

通液口：1/4"
真空端口：Φ6

接液部材質(zhì)：PFA（脫氣膜、結(jié)束部、接合部）
脫氣率：80%的流量乘以3

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