日本IMT半導(dǎo)體材料高精度研磨拋光機(jī)
日本IMT半導(dǎo)體材料高精度研磨拋光機(jī)

主要特點(diǎn)

• 3個(gè)試樣獨(dú)立研削值設(shè)置：可以為每個(gè)試樣分別設(shè)置Z軸（高度）方向的研削值，精度可達(dá)1μm。
• 時(shí)間模式自動(dòng)研磨：支持時(shí)間管理的研磨模式，可在1個(gè)工程中設(shè)置2個(gè)階段的變化。
• 研磨劑自動(dòng)滴注：配備“研磨劑自動(dòng)滴注裝置"，可實(shí)現(xiàn)無(wú)人自動(dòng)研磨。
• 研削值誤差補(bǔ)償：具備補(bǔ)償功能，可糾正由于圓板振動(dòng)或布輪彈性引起的研削誤差。
• 操作簡(jiǎn)便：配備大按鈕的觸摸面板和方便的模擬按鈕，操作簡(jiǎn)單。

本體規(guī)格

• 圓板尺寸：
• 高精度研磨圓板：Φ223mm或Φ200mm
• 高精度琢磨圓板：Φ200mm
• 磁性表面圓板：Φ200mm
• 可選配Φ250mm圓板，但圓板需單獨(dú)購(gòu)買。
• 研磨功能：個(gè)別荷重的研磨
• 轉(zhuǎn)速：
• 圓盤(pán)：50-300rpm（正轉(zhuǎn)/反轉(zhuǎn)切換）
• 夾具：50-200rpm
• 試樣數(shù)量：Φ25mm、30mm、40mm×3個(gè)
• 特殊尺寸夾具和特殊夾具需定制
• 夾具需單獨(dú)購(gòu)買
• 加壓力：個(gè)別荷重：5-30N/每個(gè)試樣
• 操作：觸摸面板+模擬按鈕+轉(zhuǎn)速旋鈕
• 可選擇“研削值自動(dòng)停止"或“時(shí)間停止"
• 研磨水自動(dòng)啟動(dòng)/停止，另外配備供水按鈕
• 研削值設(shè)置：
• 每個(gè)試樣可在5μm-5mm范圍內(nèi)設(shè)置Z軸方向的研削值
• 最大可設(shè)置H20mm的試樣
• 最大研削量可達(dá)5mm
• 設(shè)置精度為1μm
• 頭機(jī)構(gòu)：頭可上下移動(dòng)，上升時(shí)可手工研磨
• 氣源：0.5-0.7MPa
• 如果氣壓超過(guò)0.7MPa，需要另外配備調(diào)壓器
• 電機(jī)功率：
• 頭部：60W，無(wú)刷電機(jī)
• 底座：120W，無(wú)刷電機(jī)
• 電源：?jiǎn)蜗?00V或單相220V
• 尺寸/重量：寬480mm×深670mm（含排水口）×高500mm（頭部升起時(shí)650mm），重量45kg

應(yīng)用場(chǎng)景