日本KLS半導(dǎo)體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈
日本KLS半導(dǎo)體晶圓周邊曝光用氙氣水銀燈

1. 光譜寬＋峰值強(qiáng)
   200 nm–800 nm 連續(xù)譜上疊加 254 nm、365 nm、405 nm、436 nm 等汞線(xiàn)，一臺(tái)燈即可同時(shí)滿(mǎn)足 i-line（365 nm）曝光和可見(jiàn)光對(duì)準(zhǔn)，不必?fù)Q燈。
2. 高亮度點(diǎn)光源
   電弧長(zhǎng)度 1–3 mm，亮度 20–50 W mm?2 sr?1，可高效耦合到 φ3–φ5 mm 石英光纖或?qū)Ч獍?，?shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離冷光照明。
3. 快速啟動(dòng) / 熱重啟
   內(nèi)置高壓氙氣，冷啟動(dòng) 30 s 達(dá) 80 %光通；熄燈后 3–5 min 可熱重啟，適合小批量、頻繁開(kāi)關(guān)的實(shí)驗(yàn)或檢修產(chǎn)線(xiàn)。
4. 長(zhǎng)壽命、低光衰
   直流 150 W、200 W、350 W、500 W、1 kW 多款，額定壽命 1 000–2 000 h；采用鉬箔封接與石英球泡，200 h 光衰＜10 %。
5. 安全認(rèn)證
   燈體帶防爆槽、臭氧過(guò)濾石英（O?-Free），通過(guò) PSE、CE 認(rèn)證；配套電源內(nèi)置電流反饋，電弧漂移＜0.2 mm，保證曝光均勻性。