日本P.R.A.半導(dǎo)體靜電卡盤(pán)用高壓ESC電源
日本P.R.A.半導(dǎo)體靜電卡盤(pán)用高壓ESC電源

1. 在晶圓靜電吸附領(lǐng)域，雙極 ESC 電源已成主流，其核心補(bǔ)償思路如下：

• 正、負(fù)電極對(duì)晶圓施加的電壓，與等離子體點(diǎn)燃后在晶圓表面產(chǎn)生的 DC self-bias，會(huì)在吸合力上造成不平衡。
• 為此，在 ESC 電源的中心抽頭（CT）注入一路“偏置抵消電壓"，把上述 DC bias 抵消，實(shí)現(xiàn)整面均勻吸附。

2. ESC 是什么？半導(dǎo)體硅片或 LCD 玻璃基板在真空腔室內(nèi)必須被“無(wú)夾持"固定。傳統(tǒng)機(jī)械爪易劃傷、局部應(yīng)力大；真空吸盤(pán)又無(wú)法在真空中工作。于是利用靜電力：在陶瓷盤(pán)內(nèi)部埋設(shè)一對(duì)電極，通高壓后形成“庫(kù)侖吸盤(pán)"，即靜電卡盤(pán)（ESC）。該方法已廣泛用于 PVD、CVD、ETCH 等制程。
3. 工作原理（圖 1）電極附近出現(xiàn)反極性電荷，陶瓷表面則感應(yīng)出同極性電荷。當(dāng)硅片靠近時(shí)，片內(nèi)誘導(dǎo)電荷與表面電荷相互吸引，產(chǎn)生吸附力。吸力大小與表面電荷量成正比，而電荷量由高壓電源精確控制。
4. P.R.A. 自制 ESC 電源

半導(dǎo)體前制程專用靜電卡盤(pán)高壓電源

• 輸出電壓：±1 kV ～ ±5 kV（連續(xù)可調(diào)）
• 輸出電流：1 ～ 10 mA
• 極性：?jiǎn)螛O / 雙極可選
• 中心抽頭（Bias）：Floating / FG / Bias 三種模式
• 控制方式：本地旋鈕 + 外部模擬信號(hào) + 遠(yuǎn)程數(shù)字指令（I/O、RS-232C 等）
• 符合 RoHS

1. 可直接替換現(xiàn)有電源，保持原接口與安裝孔位（Plug-in 兼容）。
2. 內(nèi)置過(guò)流限制、極性反接保護(hù)、電弧放電抑制，顯著提升工藝良率。
3. 支持單口（1-Port）、J-R 型、多通道陣列等各種 ESC 接口。