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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display





日本P.R.A.半導(dǎo)體靜電卡盤(pán)用高壓ESC電源電極附近出現(xiàn)反極性電荷,陶瓷表面則感應(yīng)出同極性電荷。當(dāng)硅片靠近時(shí),片內(nèi)誘導(dǎo)電荷與表面電荷相互吸引,產(chǎn)生吸附力。吸力大小與表面電荷量成正比,而電荷量由高壓電源精確控制。
產(chǎn)品型號(hào):
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
更新時(shí)間:2025-12-13
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日本P.R.A.半導(dǎo)體靜電卡盤(pán)用高壓ESC電源
日本P.R.A.半導(dǎo)體靜電卡盤(pán)用高壓ESC電源
半導(dǎo)體前制程專用靜電卡盤(pán)高壓電源
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